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臭氧水處理系統(tǒng)PAP-SC-200

  • 型號：

    PAP-SC-200

  • 簡介：

    用于水處理和水消毒的氧化系統(tǒng)

  • 品牌：

    Anseros 安索羅斯

  • 產地：

    德國

詢價單

應用 產品介紹 技術參數(shù)

應用

IMEC和RCA清潔流程

UPW系統(tǒng)

高級氧化工藝AOP

三相系統(tǒng)

生物降解DOC

滅菌

消毒CIP

產品介紹

特別是在半導體加工中，需要完全清潔的臭氧系統(tǒng)。在處理過程中從臭氧系統(tǒng)發(fā)射到半導體表面的任何金屬和顆粒（Wafer/IMIC/RCA/SOM等）都會影響芯片的質量。包括其組件——例如臭氧發(fā)生器COM-AD或臭氧監(jiān)測器WM——在內，Anseros的PAP-SC系統(tǒng)完全不含與臭氧接觸的金屬。無論是否有酸，它們都可以進行清潔的濕法和干法加工。為了確保安全，PAP-SC系統(tǒng)包括一個CAT-HO臭氧破壞器。

技術參數(shù)

氣體流量：100 - 1000 Nl/h

O3：100 - 300 g O3/m3

與臭氧接觸的材料：PFA、石英

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